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產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD粉末坩堝蒸鍍儀

粉末坩堝蒸鍍儀

產(chǎn)品簡介

粉末坩堝蒸鍍儀KT-Z1650CVD是我公司專為科研院所及實(shí)驗(yàn)室用戶群體設(shè)計(jì)開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。蒸發(fā)源可兼容金屬、有機(jī)物蒸發(fā)、金屬粉末等。配有樣品擋板,可手動(dòng)或自動(dòng)開/關(guān)擋板,達(dá)到及時(shí)遮擋樣品效果;觸摸屏控制,操作簡單,更有工藝儲(chǔ)存等功能。

產(chǎn)品型號(hào):KT-Z1650CVD
更新時(shí)間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1193
詳細(xì)介紹在線留言
品牌鄭科探產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

粉末坩堝蒸鍍

鉻是受歡迎的金屬之一。鉻是一種銀色,有光澤,堅(jiān)硬,含雜質(zhì)的鉻硬而脆,具有很高的耐腐蝕性。它的熔點(diǎn)為1857℃,密度為7.2g / cm3,。它的名字來自希臘語“chroma",意思是顏色,因?yàn)樗念伾浅XS富。它廣泛用于汽車工業(yè),形成輪子和保險(xiǎn)杠上的閃亮涂層。

熔點(diǎn)(°C1857   密度(g / cm3)固態(tài)7.19 液體6.9  沸點(diǎn): 2672.0  熱導(dǎo)率:90.7W/m.K (300K)  粉末                     顆粒


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-熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源、坩堝蒸發(fā);

-

腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;

-

泵:前級(jí)干泵,分子泵;

- Load Lock

樣品傳輸腔室:手動(dòng)或自動(dòng)傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配)

-

工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲(chǔ)存;

-

襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;






-       襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;

-       保護(hù)樣品:配有樣品擋板,可手動(dòng)或自動(dòng)開/關(guān)擋板,達(dá)到及時(shí)遮擋樣品效果;

以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖:

以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間碳紙鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機(jī)械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘

真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色



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粉末坩堝蒸鍍KT-Z1650CVD技術(shù)資料

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

1800

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計(jì)接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數(shù)顯真空計(jì)(測量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa



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